Schräglicht - und Frequenzscannende Interferometer
Solution
Schräglicht - und Frequenzscannende Interferometer
Einsatz und Performance
- Große Bauteile bis 600mm Durchmesser ganzheitlich vermessen
- Kurze Messzeit
- Hohe Genauigkeit.
- Messen in der Produktion
- Mögliche höhere Auflösung
- Berührungsloses messen
Parameter
- Ebenheit
- Stufenhöhe / Dicke
- Parallelität
- Zernike Polynome.
- Halbleiterparameterer Hand
- Simultane Vermessung Vorder-Rückseite transparenter Proben.
